光学系统和相适应的光刻胶、掩膜版等,GCA也生产不出EUV光刻机!
前世,举国之力研制13.5nm的EUV光源也没有结果,在世界上只有ASML控股的Cymer才能生产EUV光源,可见难度之大!
在光刻机光源方面,光刻机光源后起之秀Cymer如今还不是GCA的对手。
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