者还不敢付诸实践。
“孙董事长,BSEC能否不转让磁悬浮式双工作台系统专利给Nikon?”
拥有了BSEC的磁悬浮式双工作台系统专利的终身授权,GCA光刻机光学精密设备研究所升级改造,只要研制成功适应800nm制程工艺的磁悬浮式双工作台系统(不能出售和转让专利技术),GCA光刻机的制程工艺就有可能达到500nm,达到Nikon光刻机的制程工艺,购买休斯电子材料公司(AEMC)生产的8英寸晶圆,还能提高35%左右的产能。
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