euv联盟的研发费用出资比例中，牵头的美国能源部出30%，inte和ga各出20%，tr、ib、it、ad和hp各出4%，irn和yer等其他33家科技企业和研究机构共出10%，今后享受的权利同出资比例相同。
ga需要出资的20%中，以前的euv研究成果折算15%。
ga这些年为了研发euv投资了15亿美元，取得了不少有关euv的研究成果，但离成功还有很远的距离，以ga一家之力很难完成，汤普森院长不得不放弃，出面邀请美国能源部和inte等光刻机和半导体产业的同行，美国能源部牵头成立了euv。
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