00年的十月，光刻机的光源波长依然被卡死在193nm已经有好几年。
尼康主张用在前代技术的基础上，采用17nm的&nbp;f激光，走稳健道路。
而这一选择，其实有着很强烈的极限终极的意味，因为即使尼康成功的研发了17nm制程的f激光光刻机，那么18到4个月以后呢，怎么还能研发这一类激光源已经到了极限的17nm制程天堑以下的光刻机？
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