还要考虑散热。
光照在水上会加热水,这种事平时不算什么,但光刻机是极为精密的设备。
给水散热最好的方法就是让水流动起来,但是水一流动,就又可能会形成气泡,所以出水口的形状、位置都得经过严格计算。
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