平衡向吸热一方移动，有利于硅的沉积，也会使硅的结晶性能更好。
但实际生产中反应温度也不能太高，这是因为硅和其它半导体材料的固相沉积一样，存在一个最佳温度。
一旦超过这个温度，随着温度的升高，沉积速度反而下降同时，杂质b、p化合物，随着温度的增高，其还原量也将加大，这将降低多晶硅的质量。
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