缩短光源的波长，这也是光刻机世代演变的核心。
到今天，光刻机历经四代，从g-le436n起步，卡在了第四代arf193n上十余年无法寸进。
而我们在徐老爷子的带领下攻克了前两代光刻机，华国微电子去年也开始启动了第四代arf193n的研究……”
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