年，钱富强副研究员在自主制造arf准分子激光器的工作中做出重大贡献，晋升研究员，担任光刻机光源研究所所长。
邓国辉院士不再兼任光刻机光源研究所所长，集中精力主持光刻机半导体研究院的整体研究工作。
浸没式光刻技术在bsec属于严格保密的研究项目，属于在研项目的第一号，由光刻机光学研究所、光刻机光源研究所和光刻机自动化研究所相关研究人员和高级技师组成，联合攻关组由陈伟长院士和夏季常院士领衔，所有参与者同bsec签订了保密协定。
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