子领域排在前三位。
gca如今能生产半导体产业链上技术最复杂最先进的光刻机，gca光刻机半导体研究院院长兼任光刻机光源研究所所长汤普森虽然还没有研究成功极紫外光光源，但在世界范围内，gca光刻机光源研究所的技术实力称第二，没有哪家光源研究所敢称第一！
邓国辉院士主持bsec光刻机半导体研究院的工作，虽然技术实力同g还有较大的差距，但人才济济。
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