!自己先后控股了BSEC和GCA,完成了巴克豪斯投资入股的要求,投资蔡司半导体制造公司的股权只是时间问题,光学系统也有了着落,换取GCA的ArF准分子激光器的终身专利授权成为首要之选。
“孙董事长,虽然公司的ArF准分子激光器还保持行业第一,但Nikon和等光刻机公司都拥有自己的ArF准分子激光器公司发明专利,我担心BSEC不会答应。”
如今世界前十位的光刻机公司都有自己研发的ArF准分子激光器,GCA的ArF准分子激光器不是唯一之选,艾德里安当然担心。
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