四十九岁的夏季常教授华学国家光电研究所副所长,研究方向就光刻机工作台自动化,当年钟德伟的博士生,次被老师邀请带着研究团队,到京城半导体设备公司参与光刻机悬浮式双工作台系统项目的联合攻关。
世,华学国家光电实验室也参与步进扫描式光刻机的研发项目。
见识了夏季常教授亲自操作光刻机曝光台测光台自动化的现场演示后,孙健才相信第一台光刻机悬浮式双工作台系统样机研制成功了!
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