统，但为时已晚，a和其他光刻机公司都购买了be的专利技术，自己生产光刻机双工作平台系统，be负责升级；除了ga，其他公司生产一台光刻机需要缴纳相当于每台光刻机售价1的专利使用费。
ga如今已经升级配套90n制程工艺的磁悬浮式双工作台系统技术，遥遥领先于a的技术，按照专利技术转让协定，be交给了nin、a、ann和vg。
全球光刻机用户已经习惯使用be磁悬浮式双工作台系统技术，a在中高端光刻机上还是使用be的，在低端光刻机上使用自研的。
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