0万美元收购了p&e的光刻业务。
1998年，utrateh最终被管理层杠杠收购，退出了光刻机制造市场，成为一家专注于先进微电子工艺开发和制造解决方案提供商，其产品包括激光均匀化系统、氧化物化学气相沉积系统等先进工艺设备，广泛应用于集成电路、存储器件制造等领域。
全球光刻机市场，一年只有500台左右，市场竞争激烈，优胜劣汰，如今全球只剩下5家，美国有ga和vg，日本有nin和ann，荷兰有a，中国有be。
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