取得成功，1997年7月自动放弃了研究。
1997年10月，汤普森院士出面邀请英特尔和美国能源部共同开发euv。
前世，英特尔邀请尼康和a加入euv联盟，但美国政府反对尼康加入，a做出多重承诺后才得到这个千载难遇的机会，资金到位，技术入场，人才云集，euv联盟也花了近20年的时间，第一台可量产的aeuv样机才正式发布。
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