到75毫米。
而清华大学研制第四代分步式投影光/刻机，并在1980年获得成功，光刻精度达到3微米，接近国际主流水平，1982年科学院研发kha-75-1光/刻机，跟当时佳能相比最多也就不到4年。
只不过这一切都在80年代戛然而止，随着国家政策全面转向经济建设，大量优秀的项目被下马，颇有前景的项目因为缺乏研究资金而不得不中断研究，我们自废了武功。
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