找到最适合的工艺因子。”
用嘴简单的话语讲解了自己的想法,然后张本松才放其他工程师进来,他们把烘焙好的硅片固定在光刻机上,然后启动光刻,按照张本松的想法进行反复曝光。
这一次他们失败了,硅片在经过刻蚀以后张本松发现在进行了过度曝光后,光刻胶受到很大影响,导致不该被光刻的地方也受到了衍射曝光。
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