接触式光刻机的镜片鼓捣出了投影式光刻机,那剩下还有一台接触式光刻机,完全可以拆了重新组装成投影式光刻机。
除此之外,宁海光学仪器厂那边的超精磨床下个月就能到货,到时候现在这些高精度镜片就能批量生产,他们生产投影式光刻机的速度还能加快。
“到时候方厂长该担心的就不是机器不够的问题,而是洁净室太小了,单独建设厂房该提上日程啦!”郑南说。
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