李兴没有说大话,第二天他就拿着一份方案找到了郑南。
「郑厂长,我认为现在无法推进更高制程的主要原因,除了一个是光刻技巧外,还有更重要一点就是无法制作相应的光掩模。」
接触式光刻的原理就是用光这把刻刀透过光掩模这块遮光板,把想要的芯片图案1:1等比例投射在下面的硅片上。
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