精度上更高,可以用来蚀刻低纳米级的芯片。
当初韩元想着的是调配精度高一点的光刻胶让华国也能自己生产,现在倒好,方便了他自己。
这三种感光树脂重新按照不同的比例调配一下,制备出来复形感光树脂就可以适用于碳基芯片了。
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