但一台EUV光刻机得经过十几面反射镜，才能将极紫外光从光源一路引导到晶圆上。
到最后，能用于雕刻的光源，大概只能剩下不到百分之二的光线。
这也是光源激发器的为什么需要超大功率的原因。
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