次我制备的光刻机，其所有的结构图纸都在这里了。”
“其主体总共分成激光发生器、能量控制器、光度控制器、光镜器、掩膜台、曝光台、测量器、减震装置总计八大部分。”
“这八大部分是构成光刻机的主体结构。”
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