的零件有十数万个。”
“从曝光系统、到工件台掩模台系统、到自动对准系统、到调焦调平测量系统......，每一个系统都有着无数的零件和软件配合。”
“顶尖的光刻机，要求每一个系统模块都在电气时代做到顶尖。”
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