段云同样需要突破的还有光刻机技术，而这其中。
顶级的光源，高精度的镜头和精密仪器制作技术是EUV光刻机三大核心技术，阿斯麦的光源来自收购的子公司Cymer；镜头来自深度绑定的蔡司；精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。
其实从后世的芯片产业发展来看，国产光刻机在光源方面，以及光刻机对准台方面，都已经得到了重大突破，达到了国际先进水平，中国的极紫外光也是相当厉害的，所以光源和工作台并不是制约国产光刻机的最主要因素。
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