完成10片 Flash芯片圆晶片光刻处理之后,两名阿斯麦的工程师又重新更换了掩膜,准备再加工20片6052仿制品的芯片。
6微米的制成技术还是上世纪70年代末的水平,因为内部结构要比flash芯片简单的多,所以加工效率也非常的高,20块圆晶片只用了不到4分钟就加工完成,自然在场的所有人,包括段云在内,都感到了惊讶。
因为之前用东芝的光刻机加工这种芯片,20块圆晶片起码需要8~9分钟左右,而阿斯麦的这台光刻机效率整整快了一倍。
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