霍启煊微微一笑，解释道:
“光的相干长度决定了能产生光学相干的光波面区域大小，如果相干长度足够大，整个曝光视场就能达到相干，整片光刻图形的成像质量才能得到保证。这对光刻的重要性不言而喻。”
肖光耀脸色异样，又接着问：
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“光的相干长度决定了能产生光学相干的光波面区域大小，如果相干长度足够大，整个曝光视场就能达到相干，整片光刻图形的成像质量才能得到保证。这对光刻的重要性不言而喻。”
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