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第四十四章 内部意见(10 / 16)

工艺,台积电也是28纳米通用工艺技术。

它所使用的光刻机,也都还是193nm的浸润式光刻机,这已经是世纪初就研发的技术了。

我现在也没指望要一蹴而就,把阿斯麦最新的极紫外技术做出来,先攻克这个深紫光技术,也没那么困难。”

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